10月26日,机电工程学院副院长黄家海教授一行赴科沛达半导体(安徽)有限公司走访,双方就半导体湿法清洗装备技术及校企合作事宜进行了深入交流。
科沛达半导体(安徽)有限公司是淮南市重点引进的高新技术企业,也是淮南市首家半导体产业设备供应商。公司主攻槽式与单片湿法制程设备及配套自动化装备。
座谈会上,公司董事长李继忠对黄家海一行的到访表示热烈欢迎。随后,黄家海一行介绍了机电工程学院在机械设计、流体仿真、自动化控制等方向的学科积累与科研条件。科沛达方面介绍了企业由非标湿法清洗设备切入、逐步向晶圆制造厂商配套延伸的发展思路,并提出在洁净车间环境下设备轻量化与高刚性、喷淋流场均分性、微振动抑制以及模块化设计等方面的实际工程需求。双方一致认为,企业在半导体湿法设备核心工艺与清洗机理上具有深厚积淀,而学院在机械结构设计、流体仿真分析、结构可靠性等工程化落地方面具备科研优势,双方优势高度互补,合作空间广阔。

座谈会现场
座谈中,结合企业“低门槛起步、小项目验证、逐步放大”的合作意愿,双方形成了分梯度推进的合作框架,并就未来共建联合研发平台、互聘导师、定向人才输送等远期安排交换了意见。
会后,黄家海副院长一行在李继忠董事长等企业领导的陪同下参观了企业生产车间,实地了解了湿法清洗设备从结构装配、管路布设到整机调试的制造流程与工艺条件,并就装配现场的具体工程问题进行了深入交流。
撰稿:机电工程学院 谢淮北
核稿:机电工程学院 黄家海
编辑:机电工程学院 胡荣
审稿:机电工程学院 唐克